阿斯麦：预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50% ...

2026-02-23

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　　阿斯麦暗示，通过提升功率，可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特，预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。

（文章本源：财联社）

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